信然無(wú)油空壓機(jī)一舉打破品牌壓縮機(jī)在芯片光刻機(jī)曝光機(jī)行業(yè)的壟斷地位，成功為某高端芯片制造商的進(jìn)口光刻機(jī)曝光機(jī)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)零的突破，標(biāo)志著信然無(wú)油螺桿壓縮機(jī)已經(jīng)可以滿足光刻機(jī)曝光機(jī)領(lǐng)域?qū)諝獾目量桃蟆?/span>

曝光機(jī)是生產(chǎn)大規(guī)模集成電路的核心設(shè)備，制造和維護(hù)需要高度的光學(xué)和電子工業(yè)基礎(chǔ)，世界上只有少數(shù)廠家掌握。因此曝光機(jī)價(jià)格昂貴，通常在 3 千萬(wàn)至 5 億美元。

光刻機(jī)（lithography）又名：掩模對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)，曝光系統(tǒng)，光刻系統(tǒng)等，是制造芯片的核心裝備。它采用類似照片沖印的技術(shù)，把掩膜版上的精細(xì)圖形通過(guò)光線的曝光印制到硅片上。

自從臺(tái)積電真的斷供華為，讓其無(wú)高端芯片可用后，我們真的是不再抱有任何幻想。對(duì)于核心的芯片技術(shù)，只有掌握在自己手里才好，否則隨時(shí)都有可能被卡脖子。

面對(duì)美國(guó)的無(wú)理打壓，國(guó)內(nèi)很多企業(yè)都表示將投入巨資來(lái)研發(fā)芯片，包括阿里、小米、格力等巨頭，以及其它很多芯片企業(yè)加入，一時(shí)間國(guó)內(nèi)芯片行業(yè)欣欣向榮。在這里面表現(xiàn)好的還是中芯國(guó)際，據(jù)其聯(lián)席執(zhí)行官梁孟松所說(shuō)，7nm的研發(fā)工作已經(jīng)完成。

然而，邁過(guò)了這道坎，卻又迎來(lái)了另外一道坎，ASML的EUV光刻機(jī)卻不賣給我們，背后又是美國(guó)在搗鬼。沒(méi)有EUV光刻機(jī)，即使我們的制程達(dá)到了3nm也沒(méi)用，根本就無(wú)法量產(chǎn)。

怎么辦？還是得靠自己。過(guò)去兩年來(lái)，接連看到看到類似“ASML坐不住了”，“ASML扛不住了”，“ASML再見了”的自媒體文章，點(diǎn)進(jìn)去一看都是標(biāo)題黨，自我安慰。不過(guò)，也確實(shí)有一些實(shí)現(xiàn)了技術(shù)突破。

就在前段時(shí)間，南京大學(xué)研究出了寬禁帶半導(dǎo)體pn結(jié)型EUV探測(cè)器。探測(cè)器是制造光刻機(jī)的一個(gè)關(guān)鍵零部件，之前使用的都是Si基紫外探測(cè)器，這種探測(cè)器存在不少缺陷，特別是對(duì)于EUV光刻機(jī)，需要更好的技術(shù)。

如今這項(xiàng)技術(shù)被我國(guó)的研究團(tuán)隊(duì)所突破，未來(lái)將會(huì)使用在新一代光刻機(jī)上面。很多網(wǎng)友看到這項(xiàng)成果后，就認(rèn)為我們也將可以生產(chǎn)EUV光刻機(jī)了，ASML地位將不保了，壟斷要被打破了。

在光刻機(jī)關(guān)鍵技術(shù)上實(shí)現(xiàn)了突破，確實(shí)是一件值得高興的事情，但我們還是要理性看待國(guó)內(nèi)光刻機(jī)和ASML的差距。ASML是全球較好的光刻機(jī)制造商，其生產(chǎn)的EUV光刻機(jī)可以用于3nm的量產(chǎn)。而國(guó)內(nèi)光刻機(jī)規(guī)模較大的制造商是上海微電子集團(tuán)，仍然在28nm階段，差距還是非常大。

目前，全球高端光刻機(jī)市場(chǎng)基本被ASML壟斷。2021年ASML營(yíng)收186.11億歐元，每臺(tái)EUV光刻機(jī)售價(jià)高達(dá)1.5億歐元。對(duì)于這樣一個(gè)利潤(rùn)豐厚的市場(chǎng)，誰(shuí)都眼饞。因此，不少企業(yè)都在加緊技術(shù)研發(fā)，尋找替代EUV光刻機(jī)的設(shè)備。

佳能、鎧俠等廠商就聯(lián)合研發(fā)了NIL工藝，在不需要EUV光刻機(jī)的情況下，也能達(dá)到5nm。還有華為在進(jìn)行光電芯片的研發(fā)，蘋果、英特爾都在自研芯片封裝技術(shù)，俄羅斯投入巨資想研發(fā)X射線光刻機(jī)。

不過(guò)，想超越或者取代ASML光刻機(jī)，沒(méi)那么容易。中國(guó)工程院院士，著名集成電路專家吳漢明就說(shuō)過(guò)，光刻機(jī)是全球化的結(jié)晶，光靠一個(gè)國(guó)家做不出來(lái)。

首先，光刻機(jī)的零部件有10多萬(wàn)個(gè)，非常復(fù)雜，供應(yīng)商就有5000多家，來(lái)自全球40多個(gè)國(guó)家。其中來(lái)自荷蘭本土的就有1600個(gè)，歐美其它國(guó)家的也有不少，亞洲的供應(yīng)商也有上千家，但大多數(shù)來(lái)說(shuō)日本、韓國(guó)、中國(guó)臺(tái)灣，至于中國(guó)大陸沒(méi)有看到公布的數(shù)據(jù)。

其次，一臺(tái)光刻機(jī)需要很多技術(shù)，而且也來(lái)自世界各國(guó)，比如瑞典的軸承和數(shù)控機(jī)臺(tái)、德國(guó)機(jī)械工藝和蔡司鏡頭、美國(guó)的光源設(shè)備和激光等等，這些技術(shù)，我們還不掌握，或者有比較大的差距。美國(guó)之所以對(duì)ASML有那么大的話語(yǔ)權(quán)，就是因?yàn)楹芏嗉夹g(shù)來(lái)自美企。

實(shí)際上，ASML非?？粗刂袊?guó)市場(chǎng)，也想把更多的光刻機(jī)賣給中國(guó)。在2022年一季度，ASML就向中國(guó)市場(chǎng)出貨了23臺(tái)DUV光刻機(jī)。雖然還沒(méi)有EUV光刻機(jī)，但DUV光刻機(jī)管夠。

作為全球較大的芯片消費(fèi)市場(chǎng)，ASML其實(shí)也擔(dān)心，通過(guò)封鎖的手段，只會(huì)加快我們自研的步伐，雖然暫時(shí)無(wú)法取代，但隨著技術(shù)的進(jìn)步，依賴性就會(huì)不斷降低。如此一來(lái)，不但會(huì)丟失中國(guó)市場(chǎng)，還會(huì)出現(xiàn)一個(gè)強(qiáng)大的競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手。

在上個(gè)月，中國(guó)電子科技集團(tuán)第九研究所傳來(lái)喜訊，表示成功研制出了“寬頻帶同軸探針”。這個(gè)產(chǎn)品主要用來(lái)芯片的良率測(cè)試，是一個(gè)非常關(guān)鍵的工具。此前，這項(xiàng)技術(shù)被國(guó)外牢牢把控，如今實(shí)現(xiàn)了自主研發(fā)，無(wú)疑又是一大進(jìn)步。

雖然我們無(wú)法立即制造出更好的光刻機(jī)，但在從每個(gè)關(guān)鍵技術(shù)上不斷突破，也是很大的進(jìn)步，如果我們掌握了光刻機(jī)的關(guān)鍵技術(shù)，一樣可以左右光刻機(jī)的發(fā)展。所以，打破壟斷還需逐個(gè)突破。

理性認(rèn)識(shí)到國(guó)內(nèi)光刻機(jī)與ASML的差距，才能更好地彌補(bǔ)差距。不要盲目的帶節(jié)奏，沉下心好好進(jìn)行技術(shù)研發(fā)才是硬道理。